集積回路デバイス

科目名
Course Title
授業コード 単位数 配当年次 開講期間
Term
科目分類 ナンバリング
コード
曜日
コマ
教室 担当教員氏名
Instructor
集積回路デバイス
Integrated Circuit Devices
B201280001 2 3 後期授業 専門科目 BEELE3522-J1 火4 B4-西K-202,オンライン(中百舌鳥キャンパス) 平井 義彦

オフィスアワー

火曜日 二限 および メールで随時受付

授業目標

集積回路の基礎となる素子の動作原理を概説し、集積回路で使われる論理回路やメモリーの構成と動作を理解する。次に、実際にシリコンウェハーに集積回路をつくりこむプロセスとそれらのプロセスを実行するために必要な方法を学習する。できるだけ物理的な基礎をふまえながら実際の集積回路作製プロセスを紹介し、社会を支える基盤技術としての位置づけと基礎的内容を理解することを目標とする

教科書

適宜資料を配布

参考書

浅野種正 集積回路工学 朝倉書店
黒木幸令著 集積回路工学 昭晃堂,
半導体集積回路(電子情報通信学会大学シリーズ)、菅野卓雄著、コロナ社(1995)

関連科目

電気回路入門 電子回路

授業時間外の学習(準備学習等について)

電気・電子回路と半導体デバイスについての動作原理についての復習

授業の概要

情報処理の基本回路の習得と,半導体集積回路の製造方法の大きく二つの項目について,CMOS回路を中心に習得する

授業計画

第1回 集積回路の概要・社会的背景と、講義の目的について理解する 準備学習等 電気 電子回路
第2回 オペアンプとアナログIC(加算器、積分器)についての復習と、回路構成・動作の理解 準備学習等 電子回路
第3回 MOS-Trの動作特性・構造と、スケーリングについて理解する 準備学習等 半導体デバイス
第4回 演習 準備学習等 前回までの復習
第5回 CMOS論理ゲート回路 (論理和、論理積、排他的論理和)の回路構成と動作を理解する 準備学習等 論理代数
第6回 CMOS論理ゲート回路 (加算回路)の回路構成と動作を理解する 準備学習等 論理代数
第7回 CMOS論理ゲート回路 (フリップフロップ)の回路構成と動作を理解する 準備学習等 論理代数
第8回 AD DA変換 メモリー回路の基本を理解する 準備学習等 論理代数
第9回 演習 準備学習等 前回までの復習
第10回 集積回路の構造の実際と作製方法についての知識を得る 準備学習等 無機化学
第11回 CMOS集積回路の作製方法(薄膜作製)についての知識を得る 準備学習等 無機化学
第12回 CMOS集積回路の作製方法(微細加工)についての知識を得る 準備学習等 無機化学
第13回 CMOS集積回路の作製方法(エッチング)についての知識を得る 準備学習等 無機化学
第14回 CMOS集積回路の作製方法(不純物拡散)についての知識を得る 準備学習等 集積回路の作製方法
第15回 集積回路の発展についての知識を得る 準備学習等 近代技術史
第16回 試験 準備学習等

上記の計画に基づいて講義を進めます
教科書で説明されていない内容は、板書あるいはプロジェクターを用いて行います
途中演習レポートを予定しています
また,必要に応じてレポートを提出してもらいます

成績評価

課題演習と定期試験を総合的に判断

備考(実務経験の活用を含む)

本授業の内容は、授業担当者の実務経験を活用したものである。